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                  侵權投訴

                  EUV產量到位了,是不是也該考慮良率了?

                  E4Life ? 2021-07-22 09:22 ? 次閱讀
                  EUV產量到位了,是不是也該考慮良率了?

                  在當前的半導體制程不斷往7nm以下發展時,EUV光刻機就成了IDM和代工廠必不可少的工具之一。隨著臺積電、三星、英特爾和SK海力士等企業的EUV光刻機紛紛到位,這些頂級半導體制造廠商和EUV光刻機的唯一制造者ASML還有另一個問題需要擔心,那就是光罩防塵膜。

                  90%透射率這道坎

                  光刻機防塵膜 / 三井化學

                  光罩防塵膜是一種透明的薄膜,主要用于保護昂貴的光罩,保持清潔,以此提高半導體生產效率。盡管光刻機一般都位于相當嚴格的潔凈室內,EUV光刻機面世初期也有不少人認為EUV不需要防塵膜,因為不會出現顆粒的存在,但實際情況下還是難免避免生產過程中雜質的出現。據ASML的說法,EUV每曝光1萬次就會生成一個雜質顆粒。通過使用防塵膜,晶圓廠可以有效避免污染而產生的缺陷。

                  雖然這是一個有效解決晶圓缺陷的辦法,卻影響了光刻機的光線透射。被防塵膜吸收的紫外光線雖然肉眼看不出,但在光刻機的表現上就成了功耗損失。當前DUV防塵膜的透射率都已經做到了99%以上,EUV防塵膜卻始終差強人意。因此,ASML和相關代工廠商都在研究如何生產出透射率更高的防塵膜。

                  然而,ASML因為需要專心去做EUV光刻機的生產開發,很難再兼顧防塵膜的生產,而且在他們的研究下,透射率一直進展緩慢。2016年,ASML推出的首批EUV防塵膜只有78%左右的透射率。2019年時,經過了一段時間的持續研發,平均透射率也僅僅提升了3.5%,達到83%的水平。

                  三星更是明確表示,不到90%以上的透射率不會使用EUV防塵膜。畢竟在當前半導體缺貨的情況下,透射率下降影響的是產量,而沒用防塵膜最多只能影響小部分良率。因此,當前無論是三星和臺積電都沒有在EUV光刻機上使用防塵膜。

                  除了透射率之外,EUV的防塵膜還有兩道坎,那就是散熱和成本問題,不過這兩個問題其實也和透射率一樣,都可能要從材料上解決。

                  離正式使用還有多久?

                  EUV防塵膜 / 三井化學

                  為此,2019年5月31日,ASML與日本三井化學公司達成協議,前者將EUV防塵膜技術授權給三井化學,由多年防塵膜生產經驗的后者來負責生產。ASML聯手加拿大企業Teledyne負責EUV防塵膜技術的開發,而三井則在日本大竹市進行防塵膜生產。

                  今年5月,ASML韓國銷售經理提到,經過與Teledyne的攜手開發,他們已經可以將EUV防塵膜做到90.6%的透射率,可以實現400W的持久功率。三井化學也在同月26日發布消息,正式宣布EUV防塵膜開始商用量產。

                  生產EUV防塵膜的并不只有三井化學一家,韓國企業FST和S&S Tech同樣在生產相關產品,三星作為這兩家廠商的大客戶,也向他們投資了不少資金。就拿FST來說,利用碳納米管材料,他們也成功將透射率做到了90%以上,還推出了自動安裝和檢測防塵膜的設備工具。畢竟在運用EUV防塵膜的生產過程中,防塵膜上的顆粒檢測和防塵膜清洗與替換也是相當耗時耗力的步驟。

                  不過,別說是保證半導體生產的良率了,這兩家的EUV防塵膜尚在研發或初期階段,自己的良率還沒保證,雖然EUV防塵膜已經變為他們的研發重心,但與ASML和三井化學相比,還有一段差距。

                  然而,韓媒報道,三星這家韓國巨頭很可能還是會用ASML自家的光罩防塵膜。因為EUV光刻機只有ASML一家制造,如果不用他們自己推薦的防塵膜,很可能難以保證后續的售后維護工作,十幾億元一臺的機器,壞了沒處修可就難辦了。

                  碳納米管EUV防塵膜 / IMEC

                  比利時微電子研究中心(IMEC)其實也在研究EUV防塵膜,他們將多片碳納米管防塵膜安裝在NXE:3300 EUV光刻機上,測得單次極紫外光的透射率可高達97%,所能承受的功率更是可以達到600W。

                  結語

                  雖然已有EUV防塵膜開始投入量產,但業內人士爆料,三星很可能會在2023年才開始在EUV光刻機上使用防塵膜。畢竟即便是90.8%的透射率,依然對產量會有一定影響,與DUV光刻機99%以上的透射率相比,還是有差距。目前基本所有晶圓廠都在滿載運行,在產量和良率的抉擇上,影響更小的后者明顯不是首選。
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                  發表于 08-31 12:26 ? 509次 閱讀
                  三星2021款The Wall將于9月在國內上市

                  未來量子芯片或將繞開光刻機

                  因為在科技圈發生的各種問題,比如華為等企業被美國供斷芯片,國內一度為芯片供應問題而一籌莫展,很多人也....
                  發表于 08-31 09:40 ? 1202次 閱讀

                  未來科技量子芯片無需用使用光刻機?制造芯片難還是問題嗎?

                  因為在科技圈發生的各種問題,比如華為等企業被美國供斷芯片,國內一度為芯片供應問題而一籌莫展,很多人也....
                  發表于 08-27 17:22 ? 1154次 閱讀

                  三星Neo QLED 8K電視打開極致影音體驗新世界

                  三星電視以其永不停歇的創新精神,和對市場需求的前瞻性洞察,穩居行業領先地位。作為2021 年三星電視....
                  的頭像 話說科技 發表于 08-27 11:25 ? 1603次 閱讀
                  三星Neo QLED 8K電視打開極致影音體驗新世界

                  云游戲進入大屏時代,游戲電視成玩家新寵

                  據騰訊研究院與Newzoo聯合出品的《中國云游戲市場趨勢報告(2021)》顯示,得益于5G等科技實現....
                  發表于 08-27 10:20 ? 810次 閱讀
                  云游戲進入大屏時代,游戲電視成玩家新寵

                  造光刻機需要哪些技術 國產光刻機取得了哪些重大突破

                  沒有任何一個國家的人比中國人更想造出頂級光刻機。網友甚至表示,只要造出光刻機,無論一個人做錯了什么都....
                  的頭像 佐思汽車研究 發表于 08-26 17:32 ? 5047次 閱讀
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                  未來3年2050億美元,三星這錢投向哪?

                  北京時間8月24日,三星集團對外表示,未來三年內集團將在后疫情時代投資240萬億韓元(約合2050億....
                  發表于 08-26 09:00 ? 352次 閱讀
                  未來3年2050億美元,三星這錢投向哪?

                  直線電機的優點是什么

                  加工儀器直線電機以其高速、高精度的特點,廣泛應用于光刻機、IC 粘接機、IC 塑封機等多種加工設備,而且單臺設備往往需要多...
                  發表于 08-26 06:01 ? 0次 閱讀

                  洗衣機+干衣機能產生什么化學反應?三星智愛·呵護系列給你答案!

                  隨著干衣機市場不斷擴大,洗衣機+干衣機組合使用的洗烘方案逐漸成為新風尚,尤其在追求高品質生活的消費群....
                  發表于 08-25 11:25 ? 78次 閱讀
                  洗衣機+干衣機能產生什么化學反應?三星智愛·呵護系列給你答案!

                  ?被淘汰的FinFET 5nm之后的芯片該如何制造

                  電子發燒友網報道(文/周凱揚)自去年起,臺積電和三星等晶圓代工廠紛紛推出了5nm的工藝,如今更是在鉆....
                  的頭像 微流控科技 發表于 08-25 11:02 ? 2357次 閱讀

                  三星電子為何外購TCL華星的OLED面板

                  近日業內有消息稱,TCL華星開始向三星電子供應少量智能手機OLED面板,8月17日,TCL科技方面對....
                  的頭像 微流控科技 發表于 08-24 11:44 ? 3858次 閱讀

                  給內存加上AI?三星是這樣做的

                  三星在Hot Chips 33會議上展示了其在內存內處理(PIM)技術方面的最新進展。Hot Chi....
                  發表于 08-24 10:48 ? 178次 閱讀
                  給內存加上AI?三星是這樣做的

                  ICinsights:增長19%!三星再次成為全球最大半導體供應商

                  近日,IC Insights發布了全球排名前十半導體供應商排名,包括總部位于美國的6家供應商(第二的....
                  發表于 08-21 10:50 ? 1112次 閱讀
                  ICinsights:增長19%!三星再次成為全球最大半導體供應商

                  看三星Neo QLED 8K電視如何打造電視界的好聲音

                  電視作為客廳的娛樂中心,負責主要的影音娛樂功能,畫質和音效缺一不可。特別是大屏幕成為主流趨勢的當下,....
                  的頭像 話說科技 發表于 08-20 17:44 ? 323次 閱讀
                  看三星Neo QLED 8K電視如何打造電視界的好聲音

                  美好生活從保鮮開始,Samsung BESPOKE系列冰箱與你一起迎接秋天

                  時至八月,立秋已過,處暑將至,涼爽的秋天即將到來。俗話說:“一場秋雨一場寒”,夏天的燥熱慢慢褪去,晝....
                  發表于 08-20 16:36 ? 723次 閱讀
                  美好生活從保鮮開始,Samsung BESPOKE系列冰箱與你一起迎接秋天

                  三星最新一場發布會 讓折疊手機普及的時代全面展開

                  近日,三星舉行Galaxy Unpacked 2021發布會。在層出不窮的手機發布會中,三星以最新折....
                  的頭像 話說科技 發表于 08-20 13:34 ? 2716次 閱讀
                  三星最新一場發布會 讓折疊手機普及的時代全面展開

                  光刻機是干什么用的

                    芯片制造流程其實是多道工序將各種特性的材料打磨成形,經循環往復百次后,在晶圓上“刻”出各種電子特性的區域,最后形成數...
                  發表于 09-02 17:38 ? 809次 閱讀
                  光刻機是干什么用的

                  光刻機工藝的原理及設備

                    關于光刻工藝的原理,大家可以想象一下膠片照片的沖洗,掩膜版就相當于膠片,而光刻機就是沖洗臺,它把掩膜版上的芯片電路一...
                  發表于 07-07 14:22 ? 1106次 閱讀

                  如果國家以兩彈一星的精神投入光刻機

                  如果國家以兩彈一星的精神投入光刻機的研發制造,結果會怎樣?...
                  發表于 06-10 19:23 ? 1397次 閱讀

                  車用半導體標準將出爐,將成各企業下一個主戰場

                  國際標準化組織(ISO)的車用半導體設計生產指南草案進入最后確認階段,2018年正式發布后,汽車及零組件業者預料會依照該指南...
                  發表于 05-16 09:26 ? 2187次 閱讀

                  GPNE拿下愛立信、三星電子、多普達后,如今又把專利對手瞄準蘋果

                  ` 一位原籍在中國澳門的夏威夷大學教授,95年的時候在中國申請了發明專利“尋呼方法及裝置”,這個專利是3GPP通信標準的一項...
                  發表于 01-05 11:12 ? 3504次 閱讀
                  GPNE拿下愛立信、三星電子、多普達后,如今又把專利對手瞄準蘋果

                  【EMC家園】盤點幾種全新無線充電模式,發展潛力巨大!

                  無線充電獲得蘋果智慧表Apple Watch和三星電子新旗艦機Galaxy S6采用,研調機構認為,今年有望成為無線充電裝置的起飛年,預...
                  發表于 12-18 16:08 ? 2778次 閱讀

                  小米必須做自己芯片嗎?

                  `     早上看新聞,據說三星電子、LG、華為等手機制造廠大多等不急高通的新AP,計劃2015年上半新機種將...
                  發表于 12-30 21:31 ? 5325次 閱讀
                  小米必須做自己芯片嗎?

                  BLE:智能家居一筆數以億計的小生意

                  ``      在物聯網迅猛發展的帶動下,智能家居將是今后家居領域發展的必然趨勢,廣闊的發展空間也給行業帶來...
                  發表于 09-23 15:34 ? 2491次 閱讀
                  BLE:智能家居一筆數以億計的小生意

                  LED照明專利戰 三星電子首次獲得勝訴

                  近日獲悉,韓國三星電子與德國歐司朗有關LED照明技術專利官司,三星首獲勝訴。該案中涉及的2項歐司朗專利與將LED的顏色從藍...
                  發表于 05-29 10:59 ? 118次 閱讀
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